Úvod do aplikácie titánových terčových materiálov

Dec 31, 2025

Zanechajte správu

Technológia magnetrónového naprašovania (PVD) je jednou z kľúčových technológií prípravy tenkovrstvových materiálov. Materiály vysokočistých titánových naprašovacích terčov sú kľúčovým spotrebným materiálom v procese magnetrónového naprašovania a majú široké možnosti uplatnenia na trhu. Titánové terčové materiály ako poťahový materiál s vysokou -pridanou hodnotou- majú prísne požiadavky z hľadiska chemickej čistoty, mikroštruktúry a výkonu a sú vysoko technické a ťažko spracovateľné.

 

Magnetrónové naprašovacie titánové terčové materiály sa používajú hlavne v elektronickom a informačnom priemysle, ako sú integrované obvody, ploché panelové displeje a dekoratívne náterové polia v domácom a automobilovom priemysle, ako je sklenený dekoratívny náter a dekoratívny náter nábojov kolies, ako je znázornené na obrázku 1. Požiadavky na titánové terčové materiály v rôznych priemyselných odvetviach sa tiež veľmi líšia, najmä vrátane čistoty, mikroštruktúry, zváracieho výkonu a rozmerovej presnosti. Čistota titánových terčových materiálov pre integrované obvody je prevažne nad 99,995 % av súčasnosti sa spoliehajú najmä na dovoz. Na trhu s titánovými cieľovými materiálmi používanými v plochých panelových displejoch je trh s tekutými kryštálmi (LCD) najväčší a predstavuje viac ako 90 %. LCD sa v súčasnosti považuje za najsľubnejšie ploché zobrazovacie zariadenie. Jeho objavenie výrazne rozšírilo rozsah aplikácií displejov, od displejov prenosných počítačov, monitorov stolných počítačov,-LCD televízorov s vysokým rozlíšením až po mobilnú komunikáciu. Rôzne nové LCD produkty ovplyvňujú životné návyky ľudí a poháňajú rýchly rozvoj svetového informačného priemyslu.

 

Magnetron Sputtering Titanium Target
Obrázok 1 Magnetrónový naprašovací titánový terč

 

Čistota materiálov titánových terčov má významný vplyv na výkonnosť naprašovaných filmov. Čím vyššia je čistota, tým menej častíc nečistôt je v naprašovanom titánovom filme, čo vedie k lepšiemu výkonu filmu, vrátane lepšej odolnosti proti korózii a elektrických a optických vlastností. Vo všeobecnosti majú titánové terčové materiály polykryštalickú štruktúru s veľkosťou zŕn v rozsahu od mikrometrov po milimetre. Jemnozrnné terčové materiály majú vyššiu rýchlosť rozprašovania ako hrubozrnné-materiály. Pre terče s podobnou veľkosťou zŕn na povrchu naprašovaním je distribúcia hrúbky naprášeného naneseného filmu tiež rovnomernejšia.

Zaslať požiadavku